三氯氢硅的生产大多采用沸腾氯化法，主要包括氯化氢合成、三氯氢硅合成、三氯氢硅精制等工序。氯气和氢气在氯化氢合成炉内通过燃烧反应生成氯化氢，氯化氢气体经空冷、水冷、深冷和酸雾捕集脱水后进人氯化氢缓冲罐，然后送三氯氢硅合成炉。硅粉经过干燥后加入到三氯氢硅合成炉，与氯化氢在300℃左右的高温下反应，生成三氯氢硅和四氯化硅。生成的粗三氯氢硅气体经过旋风分离和除尘过滤后，进入列管冷凝器进行水冷和深冷，不凝气通过液封送入尾气洗涤塔，处理后达标排放，冷凝液蒸馏塔分离提纯，通常采用二塔连续提纯，一塔塔顶排低沸物，二塔塔底排高沸物四氯化硅，同时塔顶出三氯氢硅产品。
淄博万达利特种气体公司生产的氯化氢在淄博齐鲁石化工业园区注册的高新科技企业，淄博万达利直属于北京华宇同方，主要从事新材料技术和化工新技术的研发，以及高新技术产品的生产和销售。研发的沸石催化剂及其应用技术处于世界先进水平。生产的“华宇同方”牌氯化氢气体产品与国际知名品牌的性能相当，为半导体器件制造业、光伏产业和医药工业提供了充足的优质原材料。
